Die Halbleiter- und Elektronikfertigung erfordert hochmoderne, trockene Pumpentechnologie, um den Anforderungen der heutigen Industrie gerecht zu werden. Eine moderne Halbleiterpumpe zeichnet sich durch geringen Energieverbrauch, erhöhte Betriebszeit, Umweltfreundlichkeit und Kostenvorteile aus.
Dazu werden unterschiedliche Typen trockener Vakuumpumpen eingesetzt:
- Klauenvakuumpumpe
- Schraubenvakuumpumpen
- Mehrstufige Wälzkolbenpumpe
- Turbomolekularvakuumpumpen