Öldiffusionspumpen erzeugen ein hohes Vakuum und arbeiten mit einem schnellen Dampfstrahl des Betriebsmittels (Öldampf). Alle Treibmittelpumpen nutzen einen ähnlichen Pumpenmechanismus, bei dem das Betriebsmittel (Öl) durch eine elektrische Heizung erwärmt wird und der Öldampf sich nach dem Durchlaufen der Strahldüsen ausdehnt. Die geförderten Gasmoleküle diffundieren in den Dampfstrom und verlassen die Pumpenkammer.
Die Moleküle des Pumpenflüssigkeitsstroms werden durch Schlagimpulse in Flussrichtung zu den Gasmolekülen übertragen, wodurch das zu fördernde Gas in einen Bereich mit höherem Druck bewegt wird. Diese Technologie ist verschleißfrei, da sie keine beweglichen Teile benötigt. Bei Öldiffusionspumpen steigt der entsprechende Dampfdruck während des Betriebs je nach Art des Betriebsmittels (Silikon- oder Mineralöl), Temperatur und Düsenkonfiguration an.
Der Dampfstrahl kondensiert nach dem Austritt durch die Düsen an den gekühlten Außenwänden der Pumpe und gelangt nicht in die Prozesskammer. Ein modernes Prallblech-Design reduziert den Ölrückstrom und -verbrauch durch eine verbesserte Kondensationsoberfläche. Dieser einfache physikalische Mechanismus macht die Diffusionspumpe zu einer robusten Technologie.
Der Vordruck in der Pumpe muss niedrig genug sein, damit der Dampf ausströmen kann. Um dies sicherzustellen, werden entsprechende Vakuumpumpen verwendet. Das Vorvakuum beeinflusst auch den Dampfstrahl und wird problematisch, wenn sein Wert einen bestimmten kritischen Grenzwert überschreitet, der als maximaler Vorvakuumdruck oder kritisches Vorvakuum bezeichnet wird.
Druschke bietet ausschließlich ausgewählte Diffusionspumpen mit einem innovativen Heizsystem an. Dieses bietet einen einzigartigen Vorteil durch die Reduzierung des durchschnittlichen Stromverbrauchs und ermöglicht deutlich schnellere Aufheizzeiten im Vergleich zu herkömmlichen Diffusions- und Öl-Booster-Pumpen.