Herstellerunabhängige Kalibrierung
Um eine wiederholbare und genaue Druckmessung in der Vakuumtechnik zu gewährleisten, müssen Vakuummessgeräte korrekt kalibriert sein.
Die meisten Prozesse in Vakuum-Produktionsanlagen werden über den Parameter „Druck“ gesteuert. Dieser wird elektronisch mit verschiedenen Messverfahren bestimmt. Dabei ist zu beachten, dass der angewendete Prozess selbst die Messgeräte verändert (Verschmutzung, thermische Belastung usw.). Dadurch steigt nach einiger Zeit die Messabweichung und die Vakuumanlage wird möglicherweise nicht mehr optimal und effizient betrieben. Darunter leidet die Produktqualität und es kommt zu Ausfällen.
Wir von der Druschke GmbH bieten eine herstellerunabhängige Kalibrierung von Vakuummessröhren an. Um eine Rückführbarkeit auf nationale Standards sicherzustellen, erfolgt die Kalibrierung anhand von normale der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt oder offiziellen Akkreditierungsstellen (DAkkS). Zusätzlich bietet die Druschke GmbH einen Vor-Ort-Abgleich von Vakuummessröhren an, um die korrekte Funktionsweise Ihrer Geräte sicherzustellen.
Die von uns durchgeführte Werkskalibrierung Ihrer Messsysteme dokumentiert die vorliegende Abweichung Ihres Geräts. Unsere Kalibrierungen werden gemäß folgender Normen durchgeführt:
- ISO 19685:2017: Vakuumtechnik – Vakuummeter – Festlegungen, Kalibrierung und Messunsicherheiten für Pirani-Vakuummeter
- DIN ISO 3567:2015: Vakuummeter – Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit einem Bezugsnormal
- ISO 27893:2011: Vakuumtechnik – Vakuummessgeräte – Ermittlung der Messunsicherheit der Ergebnisse von Kalibrierungen durch Vergleich mit einem Bezugsnormal
- DIN EN ISO 20486:2018: Zerstörungsfreie Prüfung – Dichtheitsprüfung – Kalibrieren von Referenzlecks für Gase
- DKD-R-6-2 Teil 2: Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum
Selbstverständlich beinhaltet die Kalibrierung die Reinigung sowie den Abgleich bzw. die Nullpunkteinstellung des Kalibriergegenstands.
FAQ zum Kalibrieren von Vakuummessgeräten
Bei der Kalibrierung wird die Abweichung des Messwerts vom realen Druckwert ermittelt und kann durch entsprechende Steuerungsmaßnahmen korrigiert werden.
Die Kalibriermessdaten werden aufgenommen und zusammen mit dem Kalibrierzertifikat dokumentiert. Die Rückführung auf nationale Normale ist anhand dieser Dokumentation gegeben.
Mit einer kalibrierten Messzelle können weitere Messzellen überprüft werden.
Bei der Prüfung/Abgleich wird über den gesamten Anzeigebereich des Messsensors überprüft, ob der Fehler innerhalb der Toleranzangaben des Herstellers liegt und mit einem Prüfzeichen bestätigt.
Messzellen in Prozessanlagen sind notwendig, um einen sicheren und reproduzierbaren, kontrollierten Prozess im Vakuum durchzuführen. Allerdings führt der ständige Betrieb in der Prozesskammer auch zu einer zunehmenden Verschmutzung des Messsensors, was wiederum merkbare Auswirkungen auf den Messwert zeigt. Abhängig vom Prozess und der dabei auftretenden Verschmutzung kann der Sensor nun zu wenig Druck oder zu viel Druck anzeigen. Beide Fälle sind nachteilig für die Produktion:
- Messsensor zeigt einen zu niedrigen Druck an: Prozessschritte werden bei möglicherweise zu hohen Drücken gestartet, wodurch es zu erhöhtem Ausschuss kommt.
- Messsensor zeigt einen zu hohen Druck an: Prozessschritte starten deutlich später als es möglich wäre und die Prozesszeiten steigen unnötigerweise an. Im schlimmsten Fall bricht der gesamte Prozess nach Durchlaufen einer Maximalwartezeit ab.
Nicht zu 100 %, da der Druckwert, den eine Messzelle liefert, auch durch eine Kalibrierung nicht genau eingestellt werden kann. Die Kalibrierung ermittelt die Abweichung der Messzelle vom realen Messwert. Die Anzeige kann dann durch eine geeignete Steuerung korrigiert werden (Einstellungen im Anzeigegerät der Messzelle).
Das ist abhängig vom Prozess, der auftretenden Verschmutzung und der Fehlertoleranz des Vakuumprozesses. Im Allgemeinen wird die Kalibrierung einer Messzelle wenigstens jährlich wiederholt.
Vakuummessröhren im Überblick
- Wärmeleitungsvakuummeter (Pirani)
- Kaltkathoden Ionisations Vakuummeter (Penning, Inverted Magnetron)
- Heißkathoden Ionisations Vakuummeter (Bayard-Alpert) kapazitive
- Membran Vakuummeter (Baratron, CDG, ...) piezoresistive Vakuummeter
- Weitbereichsvakuummeter (Pirani/Bayard-Alpert, Pirani/Penning,
- Pirani/Piezo, ...)
Vakuummessröhren folgender Hersteller können von uns kalibriert werden
- Inficon AG
- Leybold GmbH
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- MKS Instruments GmbH
- Edwards Vacuum
- Thyracont Vacuum Instruments GmbH