Kalibrieren von Vakuummessgeräten

Bei der Kalibrierung wird die Abweichung des Messwerts vom realen Druckwert ermittelt und kann durch entsprechende Steuerungsmaßnahmen korrigiert werden.

Die Kalibriermessdaten werden aufgenommen und zusammen mit dem Kalibrierzertifikat dokumentiert. Die Rückführung auf nationale Normale ist anhand dieser Dokumentation gegeben.

Mit einer kalibrierten Messzelle können weitere Messzellen überprüft werden.

Bei der Prüfung/Abgleich wird über den gesamten Anzeigebereich des Messsensors überprüft, ob der Fehler innerhalb der Toleranzangaben des Herstellers liegt und mit einem Prüfzeichen bestätigt.

Messzellen in Prozessanlagen sind notwendig, um einen sicheren und reproduzierbaren, kontrollierten Prozess im Vakuum durchzuführen. Allerdings führt der ständige Betrieb in der Prozesskammer auch zu einer zunehmenden Verschmutzung des Messsensors, was wiederum merkbare Auswirkungen auf den Messwert zeigt. Abhängig vom Prozess und der dabei auftretenden Verschmutzung kann der Sensor nun zu wenig Druck oder zu viel Druck anzeigen, beide Fälle sind nachteilig für die Produktion:

1. Messsensor zeigt einen zu niedrigen Druck an: Prozessschritte werden bei möglicherweise zu hohen Drücken gestartet, wodurch es zu erhöhtem Ausschuss kommt.
2. Messsensor zeigt einen zu hohen Druck an: Prozessschritte starten deutlich später als es möglich wäre, die Prozesszeiten steigen unnötigerweise an. Im schlimmsten Fall bricht der gesamte Prozess nach Durchlaufen einer Maximalwartezeit ab.

Nicht zu 100%, da der Druckwert, den eine Messzelle liefert, auch durch eine Kalibrierung nicht genau eingestellt werden kann. Die Kalibrierung ermittelt die Abweichung der Messzelle vom realen Messwert, die Anzeige kann dann durch eine geeignete Steuerung korrigiert werden (Einstellungen im Anzeigegerät der Messzelle).

Das ist abhängig vom Prozess, der auftretenden Verschmutzung und der Fehlertoleranz des Vakuumprozesses. Im Allgemeinen wird die Kalibrierung einer Messzelle wenigstens jährlich wiederholt.